布基纳法索/澳洲时间/欧冠赛程16强赛程表/西甲历届积分榜 - 2024年土伦杯赛事规则

產品中心
產品詳情

  • 產品名稱：代理AMAYA天谷制作所高生產率連續常壓CVD設備 AMAX800V

  • 產品型號：
  • 產品廠商：AMAYA天谷制作所
  • 產品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產品文檔：
你添加了1件商品 查看購物車
簡單介紹：
● 8英寸/小時100張高通量 ●采用SiC托盤，可應對重金屬污染， 實現長期穩定工藝 ●提高維護性 氣相沉積設備
詳情介紹：
特點

通過改進輸送機制實現高吞吐量。

AMAX 型分散
頭中的 SiH，經過優化，可在低溫常壓下更有效地進行熱化學反應4, PH3, B2H6和 O2分散后混合和表面反應的后混合方法，
提供優異的薄膜厚度均勻性和雜質濃度均勻性。

SiC 托盤的采用使重金屬污染不難發生。 此外，由于熱量，工藝性能
穩定，老化較少。

標準配備托盤自動更換功能，可縮短操作員的**性和維護時間。
此外，通過采用自動提升頭底座的機制，可以輕松進行
清潔。

性能
薄膜厚度均勻性 ≦±3.0%
支持的晶圓尺寸 （5 英寸）、6 英寸和 8 英寸
氣體種類 SiH4, O2, PH3, B2H6, N2
沉積溫度 350～430℃
生產力 ~100張/小時
主要規格

設備尺寸 1460mm(W) x 3830mm(D) x 2250mm(H)
加熱機構 電阻加熱
卸載 機器人CtoC輸送
分散頭
（氣體噴嘴） 		AMAX 頭（標準 3 頭）
氣相沉積設備氣相沉積設備

產品留言
標題
聯系人
聯系電話
內容
驗證碼
點擊換一張
注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發送信息!
2.如有必要,請您留下您的詳細聯系方式!

蘇公網安備 32050502000409號