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主な用途 枚葉式洗浄裝置のチャンバー圧力制御 クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 排気ラインの圧力変動を受ける機器及びプロセス 液晶のエア?ナイフ槽の排気圧力コントロール クリーンブース內(nèi)の排気圧力コントロール
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主な用途 枚葉式洗浄裝置のチャンバー圧力制御 クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 排気ラインの圧力変動を受ける機器及びプロセス 液晶のエア?ナイフ槽の排気圧力コントロール クリーンブース內(nèi)の排気圧力コントロール
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主な用途 枚葉式洗浄裝置のチャンバー圧力制御 クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 排気ラインの圧力変動を受ける機器及びプロセス 液晶のエア?ナイフ槽の排気圧力コントロール クリーンブース內(nèi)の排気圧力コントロール
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１．加濕ガスの広範(fàn)囲な圧力制御が可能 ２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 ３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動的に排気圧力を制御 ４．排気圧力の設(shè)定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)
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１．加濕ガスの広範(fàn)囲な圧力制御が可能 ２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 ３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動的に排気圧力を制御 ４．排気圧力の設(shè)定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)
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１．加濕ガスの広範(fàn)囲な圧力制御が可能 ２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 ３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動的に排気圧力を制御 ４．排気圧力の設(shè)定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)
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１．加濕ガスの広範(fàn)囲な圧力制御が可能 ２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 ３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自動的に排気圧力を制御 ４．排気圧力の設(shè)定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)
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AP250とAP500は半導(dǎo)體製造プロセス等で使用されるクリーンガスの圧力制御に適した大流量タイプのコントローラで、空気圧制御部（AP100Nと同等品）とドーム式レギュレータ部から構(gòu)成されています。 さらに外部には圧力センサを取り付け、そのセンサからの信號を空気圧制御部に入力し、空気圧制御郡のバルブをON/OFF制御することによって、レギュレータ部にあるドームの內(nèi)部圧力を調(diào)整し、外郭圧力が任意の設(shè)
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AP250とAP500は半導(dǎo)體製造プロセス等で使用されるクリーンガスの圧力制御に適した大流量タイプのコントローラで、空気圧制御部（AP100Nと同等品）とドーム式レギュレータ部から構(gòu)成されています。 さらに外部には圧力センサを取り付け、そのセンサからの信號を空気圧制御部に入力し、空気圧制御郡のバルブをON/OFF制御することによって、レギュレータ部にあるドームの內(nèi)部圧力を調(diào)整し、外郭圧力が任意の設(shè)定圧力値と一致するように自動制御します。 また、流量センサを外部に取付けることにより、流量コントローラとして使用することも可能です。 *大制御流量はAP250が5001/分、AP500が2000L/分で、*大制御圧力は両タイプとも600kPa程度です。 圧力継手はAP250が1/2"VCR、AP500は3/4"SWAG相當(dāng)品または3／4"VCR相當(dāng)品に対応しています。真空中での使用なら相當(dāng)品導(dǎo)體用
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1.小型で大流量の圧力制御が可能 AP-200 150SLM 2.ガス流量変動により圧力変化無 3.応答速度1秒以內(nèi)の高速制御可能 4.圧力の設(shè)定値を外部制御 可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**設(shè)計 6.工場オプションにて停電時圧力保持も可能
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1.小型で大流量の圧力制御が可能 AP-200 150SLM 2.ガス流量変動により圧力変化無 3.応答速度1秒以內(nèi)の高速制御可能 4.圧力の設(shè)定値を外部制御 可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**設(shè)計 6.工場オプションにて停電時圧力保持も可能
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1.小型で大流量の圧力制御が可能 AP-200 150SLM 2.ガス流量変動により圧力変化無 3.応答速度1秒以內(nèi)の高速制御可能 4.圧力の設(shè)定値を外部制御 可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**設(shè)計 6.工場オプションにて停電時圧力保持も可能
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1.小型で大流量の圧力制御が可能 AP-200 150SLM 2.ガス流量変動により圧力変化無 3.応答速度1秒以內(nèi)の高速制御可能 4.圧力の設(shè)定値を外部制御 可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**設(shè)計 6.工場オプションにて停電時圧力保持も可能
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AP160Mは半導(dǎo)體製造プロセス等で使用されるガスに対応し、比例ソレノイドバルブの開度を自動制御することによって、配管內(nèi)の圧力を自動調(diào)整するコントローラです。圧力センサを內(nèi)蔵しているので、外部にセンサを追加する必要はありません。*大制御圧力は650kPa程度で、*大制御流量は100kPa差圧で500cc／分と3000cc／分の2種接があります。AP160Mモデルは比例ソ レノイドバルブをパルス幅変調(diào)により制御することによって、応答性を良くし且つヒステリシスを無くすことができるので、1秒程度で設(shè) 定圧力に達(dá)します。圧力ロ継手は1／4"VCR相當(dāng)品で、接ガス部や圧力センサは全てメタル製になっており、半導(dǎo)體プロセスガスのほか、不活性ガス、腐食性ガス、危険ガス等全てのガスに対応可能です。
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AP150Nは空気や窒素等の不活性ガスを制御対象として、配管內(nèi)の圧力や流量を制御するのに適したコントローラです。 圧力センサを內(nèi)蔵しているので、外部にセンサを追加する必要はありませんが、別のセンサを取付け、利用することも可能です。 *大制御圧力は650kPa程度で、*大制御流量は100kPa差圧で500cc／分と3000cc／分の2種類があります。AP150Nモデルは比例ソレノイドバルブをパルス幅変調(diào)により制御することによって、応答性を良くし且つヒステリシスを無くすことができるので、1秒程度で設(shè)定圧力に達(dá)します。
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P100N 搭載世界*小壓力設(shè)定單元 氣缸等氣壓由1臺控制 一般用壓力控制器 微小流量型AP100N 是一款控制器，適用于控制空氣和氮氣等惰性氣體的內(nèi)部壓力，如氣缸和相對較小的儲罐，通過控制兩個開/關(guān)閥的打開時間來調(diào)節(jié)壓力。 內(nèi)置壓力傳感器，無需向外部添加傳感器，但也可以安裝和使用其他壓力傳感器。 *大控制壓力約為 650kPa，具體取決于連接的氣缸等內(nèi)部容量，但大約在 0.5 秒內(nèi)達(dá)到設(shè)定壓力。
