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  • 國內總代HORIBA崛場多量程多氣體數字控制器SEC-Z500X 多量程/多氣體數字質量流量控制器 這是 HORIBA *暢銷的數字式質量流量控制器。它具有多量程/多氣體功能，用戶能夠快速方便地現場更改氣體類型或滿量程流量。該質量流量控制器具有高精度（+/- 1.0% 設定點）、壓電閥、高速響應和全金屬特性，可提高制程良率，簡化零件管理。支持數字/模擬、DeviceNet? 和 EtherCAT? 通信模式。
  • 南京供應HORIBA崛場質量流量控制器SEC-E500這種通用質量流量控制器具有可靠的熱傳感器和電磁閥，可實現高水平的氣流控制。作為一種多功能組件，SEC-E 系列質量流量控制器可用于各種行業。通過質量流量控制器的氣流可控制在不同的流量范圍內：10 SCCM 至 200 SLM。
  • 浙江供應HORIBA崛場質量流量控制器SEC-E 這種通用質量流量控制器具有可靠的熱傳感器和電磁閥，可實現高水平的氣流控制。作為一種多功能組件，SEC-E 系列質量流量控制器可用于各種行業。通過質量流量控制器的氣流可控制在不同的流量范圍內：10 SCCM 至 200 SLM。
  • HORIBA崛場數字式液體質量流量控制器LV-F 數字式液體質量流量計/控制器 LF-F 和 LV-F 系列數字式液體質量流量控制器采用珀爾帖元件冷卻液體，而非更常見的熱交換方法。該技術消除了低沸點化學物質沸騰的風險，從而實現更**的化學控制。
  • HORIBA崛場數字式液體質量流量控制器LF-F數字式液體質量流量計/控制器 LF-F 和 LV-F 系列數字式液體質量流量控制器采用珀爾帖元件冷卻液體，而非更常見的熱交換方法。該技術消除了低沸點化學物質沸騰的風險，從而實現更**的化學控制。
  • 總代HORIBA崛場半導體質量流量控制器SEC-400 質量流量控制器SEC-400 系列質量流量控制器廣泛應用于全球各行業和市場。該控制器裝有熱力閥，提供可靠的控制能力。
  • 總代HORIBA崛場壓力補償質量流量控制器SEC-Z700XSEC-Z700X 系列配備了可靠的熱傳感器和壓力補償功能，可實現穩定的流量控制。集成壓力測量降低了氣體輸送系統的成本、尺寸和復雜性。壓力補償新功能簡化了供氣系統。典型的多腔室氣體管線具有管線調節器、壓力傳感器和過濾器，以避免由壓力波動引起的質量流量控制器串擾現象。SEC-Z700X 系列可以不受上流和下流壓力的影響，提供穩定的流量控制。提供流量輸出、溫度和壓力讀數。
  • HORIBA崛場高溫數字式質量流量控制器SEC-8000 F/D/E SEC-8000F/D/E 系列可在 15℃ 至 120℃ 的高溫環境下工作，用于半導體和化合物半導體加工在內的各種工作任務。
  • 總代蘇州HORIBA崛場數字式質量流量控制器SEC-N100 SEC-N100 系列適用于各種行業和應用。該質量流量控制器可以控制不同范圍的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。SEC-N100 系列還支持各種通信模式，即數字/模擬、DeviceNet?、CC-Link? 、PROFIBUS? 和 EtherCAT? 。SEC-N100 系列提供高精度（+/- 1.0% 設定點 *1）和高速響應。該質量流量控制器還具有多氣體/多量程功能，可降低制程成本。
  • 總代HORIBA崛場半導體質量流量模塊D700MG流量控制器 高響應壓力非敏感質量流量器關鍵的半導體制造過程不斷要求**的氣體流量控制設備，以實現未來的**，以及**的存儲和邏輯設備的實驗室到工廠的過渡。HORIBA公司提出了新的基于壓力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型號，以支持客戶的挑戰。
  • 總代HORIBA崛場半導體質量流量模塊D700MG流量控制器 高響應壓力非敏感質量流量器關鍵的半導體制造過程不斷要求**的氣體流量控制設備，以實現未來的**，以及**的存儲和邏輯設備的實驗室到工廠的過渡。HORIBA公司提出了新的基于壓力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型號，以支持客戶的挑戰。
  • 浙江區域供應HORIBA崛場半導體熱式氣體分流器FS-3000FS-3000 結合了 HORIBA STEC 質量流量控制器（MFC）和 MuCube（主控制器）的功能。通過配備 HORIBA STEC 專有控制算法的 MuCube 控制 MFC，FS-3000 實現了穩定的分流控制。
  • 國內總代HORIBA新型壓力補償質量流量控制器SEC-Z700S。 SEC-Z700S 系列配備了新開發的熱傳感器和壓力補償功能，可實現穩定的流量控制。集成壓力測量功能降低了氣體輸送系統的成本、尺寸和復雜性。新功能簡化了供氣系統。典型的多腔室氣體管線具有管線調節器、壓力傳感器和過濾器，以避免由壓力波動引起的質量流量控制器串擾現象。
  • 蘇州區域總代HORIBA崛場寬范圍壓敏質量流量計D700WR 半導體流量控制安裝了一個新的節流器，專為大范圍控制應用設計，基于 CRITERION? 技術，具有高精度性能。D700WR 可將流量控制在全量程范圍的 0.1%，幫助用戶優化氣體輸送系統的靈活性。例如，如果系統安裝了多個 MFC 用于高、低流量控制，用戶可以減少 MFC 的數量，在同一位置使用另一個 MFC 用于不同的目的。
  • 江蘇區域供應HORIBA崛場緊湊型質量流量控制器DZ-100半導體DZ-100 繼承了 HORIBA STEC 公司 MFC D500 所采用的相同標準技術 — 粘性層流范圍壓差檢測系統。該技術實現對各種氣體的質量流量進行高精度控制。與 D500 一樣，用戶可配置 DZ-100，支持多量程和多氣體應用。MFC 設計緊湊，減少了內部氣流通道占用的內部體積，同時采用優化控制算法改善了響應特性。該設備使用處理能力較高的緊湊型中央處理器（CPU）。
  • 總代HORIBA崛場半導體質量流量模塊D700MG流量控制器 高響應壓力非敏感質量流量器關鍵的半導體制造過程不斷要求**的氣體流量控制設備，以實現未來的**，以及**的存儲和邏輯設備的實驗室到工廠的過渡。HORIBA公司提出了新的基于壓力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型號，以支持客戶的挑戰。

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