布基纳法索/澳洲时间/欧冠赛程16强赛程表/西甲历届积分榜 - 2024年土伦杯赛事规则

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    日本HORIBA堀場(chǎng)制作所:異物顆粒檢測(cè)/去除-為您解析

    日期：2025-04-27 11:23
    瀏覽次數(shù)：254
    摘要：日本HORIBA堀場(chǎng)制作所：異物顆粒檢測(cè)/去除

    日本HORIBA堀場(chǎng)制作所：異物顆粒檢測(cè)/去除


    日本HORIBA堀場(chǎng)制作所 顆粒檢測(cè)系統(tǒng)：PR-PDSERIES
    檢測(cè)晶圓上的顆粒
    基于激光散射檢測(cè)的光罩/掩模版粒子檢測(cè)系統(tǒng)經(jīng)過(guò)多年的運(yùn)營(yíng)，已經(jīng)有很多用戶(hù)
    在使用。 該系統(tǒng)可用于檢測(cè)裸晶片上的顆粒和缺陷，*大靈敏度為0.1μm。



    特點(diǎn)
    ■ 高通量 (≈60 sec/片)
    ■ 半導(dǎo)體Fab廠(chǎng)中使用具有合理的運(yùn)營(yíng)成本

    ■ Remarkable up time (up time ≥ 99%)


    重點(diǎn)應(yīng)用
    ? 裸晶片粒子檢測(cè)
    ? 裸晶片劃痕檢查
    ? 光罩 / 掩膜版顆粒檢測(cè)




    日本HORIBA堀場(chǎng)制作所 顆粒去除系統(tǒng)：RP-1
    去除光罩和晶圓上的顆粒


    RP-1系統(tǒng)通過(guò)空氣（或N2）吹氣和真空吸塵器自動(dòng)去除晶片上的顆粒。該系統(tǒng)可

    處理*大200毫米的尺寸。


    特點(diǎn)
    ■ 高通量 (≈60 sec/片)
    ■ 自動(dòng)處理可防止任何ESD*
    ■ 可與顆粒檢測(cè)系統(tǒng)集成 (PR-PD系列)
    重點(diǎn)應(yīng)用
    ? 去除200mm晶圓上的顆粒
    ? 去除光罩/掩膜版顆粒





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