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Filmetrics薄膜厚度儀F20美國KLA Instruments

日期：2024-10-16 07:25

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摘要：Filmetrics薄膜厚度儀F10-HC、Filmetrics薄膜厚度儀F20、Filmetrics薄膜厚度儀F32、Filmetrics薄膜厚度儀F40、Filmetrics薄膜厚度儀F50、Filmetrics薄膜厚度儀F60-t，美國KLA Instruments薄膜厚度儀F10-HC、美國KLA Instruments薄膜厚度F20、美國KLA Instruments薄膜厚度F32、美國KLA Instruments薄膜厚度F40、美國KLA Instruments薄膜厚度F50、美國KLA Instruments薄膜厚度F60-t

Filmetrics薄膜厚度儀F20美國KLA Instruments
KLA的 Filmetrics 系列利用光譜反射技術(shù)實(shí)現(xiàn)薄膜厚度的**測量，其測量范圍從 nm-mm，可實(shí)現(xiàn)如光刻膠、氧化物、硅或者其他半導(dǎo)體膜、有機(jī)薄膜、導(dǎo)電透明薄膜等膜厚**測量，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。Filmetrics 具有 F10-HC、F20、F32、F40、F50、F60-t 等多款產(chǎn)品，可測量從幾 mm 到 450mm 大小的樣品，薄膜厚度測量范圍 1nm 到mm 級。

Filmetrics薄膜厚度儀F20美國KLA Instruments測量原理-光譜反射

光譜橢圓偏振儀 (SE) 和光譜反射儀 (SR) 都是利用分析反射光確定電介質(zhì)，半導(dǎo)體，和金屬薄膜的厚度和折射率。兩者的主要區(qū)別在于橢偏儀測量小角度從薄膜反射的光, 而光譜反射儀測量從薄膜垂直反射的光。光譜反射儀測量的是垂直光，它忽略偏振效應(yīng) （絕大多數(shù)薄膜都是旋轉(zhuǎn)對稱）。因?yàn)椴簧婕岸喾N移動設(shè)備，光譜反射儀成為簡單低成本的儀器。光譜反射儀可以很容易整合加入更強(qiáng)大透光率分析。光譜反射儀通常是薄膜厚度超過 10um 的優(yōu)選，而橢偏儀側(cè)重薄于 10nm 的膜厚。在 10nm 到 10um 厚度之間，兩種技術(shù)都可用。

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Filmetrics薄膜厚度儀F20美國KLA Instruments主要應(yīng)用

測量厚度、折射率、反射率和穿透率：