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AP160Mは半導體製造プロセス等で使用されるガスに対応し、比例ソレノイドバルブの開度を自動制御することによって、配管內の圧力を自動調整するコントローラです。圧力センサを內蔵しているので、外部にセンサを追加する必要はありません。*大制御圧力は650kPa程度で、*大制御流量は100kPa差圧で500cc／分と3000cc／分の2種接があります。AP160Mモデルは比例ソ レノイドバルブをパルス幅変調により制御することによって、応答性を良くし且つヒステリシスを無くすことができるので、1秒程度で設 定圧力に達します。圧力ロ継手は1／4"VCR相當品で、接ガス部や圧力センサは全てメタル製になっており、半導體プロセスガスのほか、不活性ガス、腐食性ガス、危険ガス等全てのガスに対応可能です。
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AP150Nは空気や窒素等の不活性ガスを制御対象として、配管內の圧力や流量を制御するのに適したコントローラです。 圧力センサを內蔵しているので、外部にセンサを追加する必要はありませんが、別のセンサを取付け、利用することも可能です。 *大制御圧力は650kPa程度で、*大制御流量は100kPa差圧で500cc／分と3000cc／分の2種類があります。AP150Nモデルは比例ソレノイドバルブをパルス幅変調により制御することによって、応答性を良くし且つヒステリシスを無くすことができるので、1秒程度で設定圧力に達します。
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P100N 搭載世界*小壓力設定單元 氣缸等氣壓由1臺控制 一般用壓力控制器 微小流量型AP100N 是一款控制器，適用于控制空氣和氮氣等惰性氣體的內部壓力，如氣缸和相對較小的儲罐，通過控制兩個開/關閥的打開時間來調節壓力。 內置壓力傳感器，無需向外部添加傳感器，但也可以安裝和使用其他壓力傳感器。 *大控制壓力約為 650kPa，具體取決于連接的氣缸等內部容量，但大約在 0.5 秒內達到設定壓力。
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中流量から大流量まで対応 素子の選定により50NLMから500NLMまで対応可能 全流方式の流量計測?制御であり、流入する???の一時的な水分混入や凝縮に強い 高速実流量応答制御実現 ???系の溫度?圧力情報も出力できるため、???供給系の診斷に*適
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