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產品詳情

  • 產品名稱：UV照射裝置 ORC歐阿希 VUM-3500

  • 產品型號：
  • 產品廠商：ORC歐阿希
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簡單介紹：
UV照射裝置 ORC歐阿希 VUM-3500UV照射裝置 ORC歐阿希 VUM-3500UV照射裝置 ORC歐阿希 VUM-3500 ?????塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司系 京都玉崎（日本）株式會社全資設立的中國子公司，自2014年成立以來，迅速崛起，專業從事國內貿易/國際貿易業務，主要經營光學設備、電子計測儀器、科學儀器、機械加工設備、環境試驗設備、PC周邊用品、作業工具用
詳情介紹：


光応用裝置


UVイレーサー

低圧UVランプから放射する254nmのUVを利用し、プラズマ処理や、熱アニール処理工程などで、蓄積された電荷を効率よく除去し、素子の特性を改善します?！√匦预胃纳皮摔瑜暄u品歩留まりの向上、信頼性の向上が期待できます。

◆ 特　徴

1． フラッシュメモリやその他の不揮発性メモリ、イメージセンサなどのチャージ除去やデータ消去に有効です。
2． 半導體デバイスのトランジスタ特性の改善と安定化にも有効です。
3． チャージイレースに*適なUV波長を、効率よく照射します。
4． 幅広い角度からUVを照射することで、効率よくチャージを除去します。
5． 対象ウェーハサイズは、１２インチ（標準）、１１インチ（オプション）となります。
6． 処理中のウェーハ溫度は100℃程度です。低溫で処理可能なため、ダメージを與えません。
7． 裝置は、裝置本體、ランプ電源ユニット、制御ユニットから構成されています。

◆ 仕　様

型式 VUM-3500 VUS-3300
処理ウエーハ
サイズ 		12インチ ○ ○
8インチ OP OP
同時処理枚數 15枚 3枚
スループット　※1 約48WPH 約24WPH
カセット形態 FOUP FOUP
ウェーハ搬送 自動搬送 自動搬送
ランプ燈數 20本 4本
初期照度 45mW/cm2 45mW/cm2
照度測定 自動測定 自動測定
裝置サイズ 1140（W）×
2100（D）×
1850（H） 		1360（W）×
2210（D）×
2700（(H）

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