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產品詳情
簡單介紹：
SF-3Rθ
OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統
搭載模式匹配功能，是X-Y定位精度2um以下的系統。OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統SF-3Rθ
詳情介紹：
SF-3Rθ
OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統
搭載模式匹配功能，是X-Y定位精度2um以下的系統。
特 長
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提供微細圖案，提供溫厚和各種厚度信息
實現高精度X-Y定位舞臺（注2μm以下），實現高精度的定位
MEMS和傳感器設備等對應6英寸韋哈
（Options）：8和12英寸
除了晶片形狀以外也可以對應
測定項目
- パターン付きウェーハ
- シリコンウェーハ、SiC、GaN、各種化合物ウェーハ
- テンポラリーウェーハ
スペック
スペック
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構成図
測定例
■貼り合わせウェーハ（Si／ボンディング／サポート基板）
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Si膜厚分布（約25μｍ） |
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| ボンディング膜厚分布（約25μｍ） |
OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統SF-3Rθ
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