布基纳法索/澳洲时间/欧冠赛程16强赛程表/西甲历届积分榜 - 2024年土伦杯赛事规则

產品中心
產品詳情

  • 產品名稱：光譜橢偏儀FE-5000 / 5000S

  • 產品型號： FE-5000 / 5000S
  • 產品廠商：OTSUKA大塚電子
  • 產品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產品文檔：
你添加了1件商品 查看購物車
簡單介紹：
除了可以進行高精度薄膜分析的橢圓偏振光譜儀之外，我們還通過實現自動可變測量機制來支持所有類型的薄膜。除了常規的旋轉光子檢測器方法之外，通過為延遲板提供自動連接/分離機制，還提高了測量精度。 　
詳情介紹：
特殊長度
  • 可以在紫外可見光（300-800 nm）波長范圍內測量橢偏參數。
  • 可以進行納米級的多層薄膜厚度分析
  • 通過多通道光譜儀可快速測量橢圓偏振光，可測量400通道或更多通道
  • 通過可變反射角測量支持對薄膜的詳細分析
  • 通過創建光學常數數據庫并添加配方注冊功能來提高可操作性。

 

測量項目
  • 橢偏參數（tanψ，cosΔ）測量
  • 光學常數（n：折射率，k：消光系數）分析
  • 膜厚分析

 

測量目標
  • 半導體晶片
    柵極氧化物薄膜，氮化物膜
    SiO 2，Si x O y，SiN，SiON，SiN x，Al 2 O 3，SiN x O y，多晶硅，ZnSe，BPSG，TiN的
    光學常數（波長色散）抵抗
  • 化合物半導體
    Al x Ga （1-x）作為多層膜，非晶硅
  • FPD
    取向膜
  • 各種新材料
    DLC（類金剛石），超導薄膜，磁頭薄膜
  • 光學薄膜
    TiO 2，SiO 2，減反射膜

  • 在每個波長下的光刻場n，k評估，例如g線（436 nm），h線（405 nm），i線（365 nm）

 

  • 產品信息
    •  
  • 原則
    •  
  • 規格
    •  
  • 測量例

相關信息

相關產品

反射光譜膜厚儀FE-3000

膜厚計FE-300

嵌入式膜厚監測儀

多通道光譜儀MCPD-9800 / 6800

光譜干涉晶圓測厚儀SF-3
產品留言
標題
聯系人
聯系電話
內容
驗證碼
點擊換一張
注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發送信息!
2.如有必要,請您留下您的詳細聯系方式!

蘇公網安備 32050502000409號