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產品詳情
  • 產品名稱:兼容裝載口的膜厚測量系統GS-300

  • 產品型號: GS-300
  • 產品廠商:OTSUKA大塚電子
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簡單介紹:
它是一種具有圖案匹配功能且XY定位精度為2um或更小的系統。
詳情介紹:
特殊長度
  • 支持集成到Φ300mmEFEM單元的備用端口
  • 實現晶圓中嵌入的布線圖案的圖案對齊
  • 支持半導體工藝的高產量要求
  • 支持缺口對齊功能
  • 小尺寸規格

 

測量例
  • TSV嵌入式圖案晶片研磨后的硅厚度
  • 晶圓厚度Φ300mm尺寸

電影
 
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  • 測量例

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