測定範囲 X軸(mm)

1600

1600

1600

1600

1600

1600

測定範囲 Y軸(mm)

2000

2000

3000

3000

4000

4000

測定範囲 Z軸(mm)

1200

1600

1200

1600

1200

1600

駆動速度 CNC mode 移動速度(各軸)(AUTO)(mm/s)

8?400

8?400

8?400

8?400

8?400

8?400

駆動速度 CNC mode 移動速度(各軸)(MANUAL)(mm/s)

8?136

8?136

8?136

8?136

8?136

8?136

駆動速度 CNC mode *大合成速度(AUTO)(mm/s)

693

693

693

693

693

693

駆動速度 CNC mode *大合成速度(MANUAL)(mm/s)

236

236

236

236

236

236

駆動速度 CNC mode 測定速度(AUTO)(mm/s)

1?5

1?3

1?3

1?3

1?3

1?3

駆動速度 CNC mode 測定速度(MANUAL)(mm/s)

1?5

1?3

1?3

1?3

1?3

1?3

駆動速度 J/S mode 移動速度(mm/s)

0?80

0?80

0?80

0?80

0?80

0?80

駆動速度 J/S mode 測定速度(mm/s)

0?3

0?3

0?3

0?3

0?3

0?3

駆動速度 J/S mode 微動速度(mm/s)

0.05

0.05

0.05

0.05

0.05

0.05

駆動加速度(各軸)(mm/s2)

800

800

800

800

800

800

駆動加速度(*大合成加速度)(mm/s2)

1390

1390

1390

1390

1390

1390

*小表示量(mm)

0.0001

0.0001

0.0001

0.0001

0.0001

0.0001

案內方式(各軸)

エアベアリング

エアベアリング

エアベアリング

エアベアリング

エアベアリング

エアベアリング

本體使用空気圧(MPa)

0.4

0.4

0.4

0.4

0.4

0.4

本體空気消費量(L/min)

150（標準狀態において）（空気源としては200）

150（標準狀態において）（空気源としては200）

150（標準狀態において）（空気源としては200）

150（標準狀態において）（空気源としては200）

150（標準狀態において）（空気源としては200）

150（標準狀態において）（空気源としては200）

測定テーブル 材質

はんれい巖

はんれい巖

はんれい巖

はんれい巖

はんれい巖

はんれい巖

測定テーブル 大きさ(載物面)(mm)

1800 × 3205

1800×3205

1800×4205

1800×4205

1800×5205

1800 × 5205

測定物 *大質量(kg)

3000

3000

3500

3500

4500

4500

測定テーブル 測定物固定方法(mm)

M8 × 1.25

M8 × 1.25

M8 × 1.25

M8 × 1.25

M8 × 1.25

M8 × 1.25

本體質量(設置臺?コントローラ含む)(kg)

9300

9350

10600

10650

14800

14850

電源

AC100～120/200～240V±10%?50/60Hz

AC100～120/200～240V±10%?50/60Hz

AC100～120/200～240V±10%?50/60Hz

AC100～120/200～240V±10%?50/60Hz

AC100～120/200～240V±10%?50/60Hz

AC100～120/200～240V±10%?50/60Hz

消費電力(プローブオプションI / Fを含む)(kW)

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5