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產品詳情
簡單介紹:
主な用途
枚葉式洗浄裝置のチャンバー圧力制御
クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御
排気ラインの圧力変動を受ける機器及びプロセス
液晶のエア?ナイフ槽の排気圧力コントロール
クリーンブース內の排気圧力コントロール
詳情介紹:
項 目 EPS-5200 EPS-5150 EPS-5100
接続パイプ口徑 200A 150A 100A
流量範囲 (1次側) 0.5 ~ 15 Nm3/min 0.5 ~ 10 Nm3/min 0.3~ 5 Nm3/min
流量が*低流量に満たない場合には設定圧力に到達しない場合があります。
圧力損失 15 Nm3/min(Air)で50Pa 10 Nm3/min(Air)で20Pa以下 10 Nm3/min(Air)で20Pa以下
コントロールバルブ取合い 200A配管出し 150A配管出し 100A配管出し
調整圧力範囲 (1次側圧力) -50 ~ -999Pa (大気圧との差圧?2次側圧力に依存します)
2次側圧力(バルブ下流圧力) (制御圧力-50)Pa以下
差圧がこの數値より小さい場合、1次側調整範囲が狹くなります。
圧力精度 ±2% フルスケール
制御リップル (定常制御時の変動) ±1% フルスケール (2次側圧力変動±10Pa以內)
耐圧 (1次側の圧力) 50kPa (大気圧との差圧) 以內
応答性 設定の98%に対し2秒以內 (Typical)
流體溫度 10 ~ 50℃
本體環境溫度 (精度保証溫度) 15 ~ 35℃
電源電圧 24V DC ± 10%
外部出力 圧力信號 : 1 ~ 5V DC
アラーム : NPN ???????????????? DC 30V < 100mA
コントローラ (CD-100) 現場設定もしくは外部設定切換え可能
外部設定信號 圧力設定信號 : 4 ~ 20mA
バルブ : 強制オープン、コントロール
(オプション) Control / Open (C/O) : 24V DC ON/OFF
アラーム信號 圧力差異 (任意設定)
本體異常 (圧力??????の異常も含む)
シリアル通信 RS485
供給Air (N2) 圧力 0.3±0.1MPaG
各ポート Φ6mm ワンタッチ(バルブ,電空部)
Φ4㎜ワンタッチ(圧力計測用)
バルブへの供給配管任意
接ガス材質 PVC, バイトン, EPDM
取り付け姿勢 自由
コントロール弁狀態 電源OFF時、バルブ狀態保持
パイプ徑、流量?圧力等上記仕様外のご要望の場合は別途ご相談願います。
排気流量制御が必要な場合は型式DPFCシリーズを準備しております。別途ご相談願います。
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