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  • 產品名稱：SAMCO 平行平板型RIE裝置 RIE-10NR

  • 產品型號：
  • 產品廠商：SAMCO薩姆肯
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簡單介紹：
RIE-10NR 是一種平行平板反應離子蝕刻 （RIE）設備，用于各向異性加工各種硅薄膜，如 Si、Poly-Si、SiO_和 SiN。
詳情介紹：

概述

RIE-10NR 是一種平行平板反應離子蝕刻 （RIE）設備，用于各向異性加工各種硅薄膜，如 Si、Poly-Si、SiO_和 SiN。 該設備是一種經濟高效的 RIE 設備，可通過 PLC 控制存儲自動操作和過程參數。

特點

? 可加工 8 英寸晶圓

雖然這是一個緊湊的設計節省空間的設備，它允許加工高達±8英寸的晶圓。

自動駕駛

通過觸摸屏操作實現自動操作 ， 可通過PLC控制進行過程管理和數據記錄 。

豐富的交付記錄

自發布以來，該設備在改進的同時不斷發展，擁有 300 多臺記錄。

應用示例

? 各種硅薄膜的高精度蝕刻，如 Si、Poly-Si、SiO+ 和 SiN

半導體激光器的制造

缺陷分析

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