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  • 產品名稱：SAMCO氯系氣體對應的負載鎖定式RIE裝置RIE-200NL

  • 產品型號：
  • 產品廠商：SAMCO薩姆肯
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簡單介紹：
RIE-200NL 是一種負載鎖定設備，基于 RIE-10NR 的經驗，該設備具有豐富的平行平板 RIE 設備交付記錄。
詳情介紹：

概述

RIE-200NL 是一種負載鎖定設備，基于 RIE-10NR 的經驗，該設備具有豐富的平行平板 RIE 設備交付記錄。 該器件可高精度蝕刻各種硅薄膜（如 Si 和 Poly-Si）以及化合物半導體（如 GaN 和 GaAs）。 雖然價格低廉，但 PLC 控制可存儲所有自動操作和過程參數，具有卓 越的高性能性價比。

特點

配備路鎖室

氯氣工藝是可能的。 此外，還實現了良好的工藝可重復性。

? 8“ 晶圓加工

雖然是緊湊設計的節省空間的設備，但可以加工高達 ±8“ 晶圓。

全自動駕駛

操作通過觸摸屏實現全自動運行 ，通過PLC控制可進行過程管理和數據記錄。

應用示例

? 各種硅薄膜的高精度蝕刻，如 Si、Poly-Si、SiO+ 和 SiN

蝕刻化合物半導體，如GaN、GaAs和InP

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