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產品詳情

  • 產品名稱：塔瑪薩崎Otsuka大塚

  • 產品型號：顯微分光膜厚計 OPTM series
  • 產品廠商：OTSUKA大塚電子
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簡單介紹：
OPTM（Optim）是一種利用顯微分光在微區域進行**反射率測量，可實現高精度薄膜厚度和光學常數分析的裝置。 涂層膜的厚度和多層膜（如各種薄膜、晶圓和光學材料）可以無損或非接觸式測量。 測量時間可以高速測量 1 秒/點。 此外，它配備了一個軟件，即使是初學者可以很容易地分析光學常數。
詳情介紹：
從運動圖像測量到結果
 
特點
  • 將薄膜厚度測量所需的功能整合到頭部
  • 使用顯微分光進行高精度**反射率測量（多層厚度、光學常數）
  • 1 點 1 秒以內的高速測量
  • 光學系統，在顯微條件下實現寬測量波長范圍（紫外至近紅外）
  • 帶區域傳感器的**機制
  • 易于分析的向導，即使是初學者也能進行光學常數分析
  • 具有可自定義測量序列的宏功能
  • 可分析復雜的光學常數（多點分析）
  • 支持 300mm 級
  • 支持各種定制

可根據樣品的形狀和部位輕松定制測量序列


規格

手勢
類型 OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
波長范圍 230～800 nm 360～1100 nm 900～1600 nm
薄膜厚度范圍*1 1 nm～35 μm 7 nm～49 μm 16 nm～92 μm
樣本大小*2 高達 200×200×17 mm
點直徑 φ5、φ10、φ20、φ40

* 以上規格與自動XY級。

*1 薄膜厚度范圍為 SiO2轉換。

*2 關于300毫米級，請聯系我們。


 

類型 自動 XY 級類型 固定框架類型 嵌入式頭型
尺寸
（W×D×H） 		556×566×618 mm 368×468×491 mm 210×441×474 mm
90×250×190 mm*
重量 66 kg 38 kg 23 kg
4 kg*
*大功耗 AC100V±10V 500VA AC100V±10V 400VA

*交流/直流電源單元

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