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產品詳情

  • 產品名稱：塔瑪薩崎Otsuka大塚測量儀器

  • 產品型號：MCPD 系列在線薄膜評估系統
  • 產品廠商：OTSUKA大塚電子
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簡單介紹：
我們的 MCPD 系列內聯薄膜評估系統采用光學類型，可在非接觸式和無損條件下檢測薄膜厚度、濃度和顏色。 可測量薄膜厚度范圍為 65nm 至 92μm，從薄膜到厚膜。 （折射率為1.5時） 測量原理為分光干涉方式，在實現高測量再現性的同時，還支持多層厚度測量。 由于采用專有算法可實現高速實時監控，因此我們提出了*適合在線膠片監視器的系統。
詳情介紹：
特點
  • 非常適合工藝過程中的薄膜高速測量
  • *短曝光時間1ms~ ※根據規格
  • 支持遠程測量
  • 膜厚測定范圍65nm~92μm（SiO2轉換）
基本配置

MCPD 嵌入式基本配置

多點測量點切換支持系統

在多點測量點切換兼容系統中，通過在TD方向上預先將多分支光纖安裝在任意寬度上，可以在不驅動光纖的情況下測量TD方向的薄膜厚度分布。 可用作涂層條件和實時監視器。

探測器和數據處理系統是一種類型，可通過光纖光路切換進行多點測量。

多點測量系統

遍歷單元對應系統

在支持遍歷單元的系統中，通過在 TD 方向上驅動遍歷單元，可以測量 TD 方向上的薄膜厚度分布，范圍和間距均相同。 可用作涂層條件和實時監視器。

無需多個探測器或數據處理，即可通過驅動遍歷單元進行多點測量。

遍歷測量系統

即使在真空環境中也能進行多點反射和透射光譜測量

通過使用適用于各種法蘭的耐真空纖維，可以在高真空下測量反射和透射光譜。 此外，薄膜厚度計算不受基膜上下運動的影響，并且通過采用大分電子專有的算法，可以**測量薄膜，可用作實時監視器。

真空


規格

MCPD-9800 規格
類型表達式 MCPD-9800
2285C 3095C 3683C 311C 916C
測量波長范圍（nm） 220～850 300～950 360～830 360～1100 900～1600
薄膜厚度范圍* 65nm～35μm 65nm～50μm 65nm～45μm 65nm～49μm 180nm～92μm
薄膜厚度/反射/透射/延遲 〇
顏色測量 〇 ×
掃描時間 5ms～20s 1ms～10s
點直徑 φ1.2mm
纖維長度 1m~ 長度需要咨詢

※膜厚值n=1.5換算。 取決于規格

 

MCPD-6800 規格
類型表達式 MCPD-6800
2285C 3095C 3683C 3610C
測量波長范圍（nm） 220～850 300～950 360～830 360～1000
薄膜厚度范圍* 65nm～35μm 65nm～50μm 65nm～45μm 65nm～49μm
薄膜厚度/反射/透射/延遲/顏色測量 〇
掃描時間 16ms～65s
點直徑 φ1.2mm
纖維長度 1m~ 長度需要咨詢

※膜厚值n=1.5換算。 取決于規格

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