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產品詳情

  • 產品名稱： 代理Otsuka大塚電子FE-5000嵌入式膜厚儀

  • 產品型號：
  • 產品廠商：OTSUKA大塚電子
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簡單介紹：
代理Otsuka大塚電子FE-5000嵌入式膜厚儀 橢圓偏振光測量儀 多功能橢偏儀 橢偏儀系統
詳情介紹：

塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司代理、直營各日本品牌工業產品，聯系人：張小姐

聯系電話：15902189399  


產品信息

特點
  • 可在紫外可見（300~800nm）波長范圍內測量橢圓參數
  • 納米級多層薄膜的厚度分析
  • 使用 400ch 或更多多通道光譜快速測量橢圓光譜
  • 通過可變反射角度測量支持薄膜的詳細分析
  • 通過數據庫化光學常數和添加配方注冊功能，提高可操作性

 

測量項目
  • 橢圓參數（tan= 、cosΔ）測量
  • 光學常數 （ n ： 折射率 ， k ： 消光系數 ） 分析
  • 厚度分析

 

測量對象
  • 半導體晶圓
    柵極氧化薄膜、氮化膜
    SiO    2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si、ZnSe、BPSG、TiN
    電阻的光學常數（波長色散）
  • 化合物半導體
    鋁    xGa(1-x)As 多層膜，非晶硅
  • FPD
    對準膜
  • 各種新材料
    DLC（Diamond Like Carbon）、超導薄膜、磁頭薄膜
  • 光學薄膜
    TiO    2，SiO2，防反射膜
  • 光刻領域
    g 線 （436nm）、h 線 （405nm） 、i 線 （365nm） 等各波長的 n，k 評價

里·哈拉

將包含 s 波和 p 波的線性偏振光入射到樣品中，以測量反射光的橢圓偏振光。 s 波和 p 波的相位和振幅獨立變化，以獲得 p 波和 s 波反射率的比值和相位差 Δ，這是兩種偏振光的轉換參數，具體取決于樣品。

光譜橢圓計原理
 

tan_ 和 cons_稱為橢圓參數，光譜橢圓測量測量這兩個參數的波長相關光譜。

手勢
類型表達式 FE-5000S FE-5000
樣本大小 高達 100x100mm *大 200x200mm
測量方法 旋轉分析儀*1
測量膜厚范圍（nd） 0.1nm～1μm
入射（反射）角度范圍 45～90° 45～90°
入射（反射）角度驅動方式 自動正弦桿驅動系統
入射點直徑*2 φ2.0 φ1.2sup*3
tanψ測量精度 ±0.01 或更少
cosΔ 測量精度 ±0.01 或更少
薄膜厚度的重復再現性 0.01% 或更少*4
波長范圍*5 300～800nm 300～800nm
測量光源 高穩定性 Xenon 燈*6
舞臺驅動系統 手動 手動/自動
加載器支持 不可以 是
尺寸、重量 650（W)×400（D)×593（H）mm
50kg 		1300（W)×890（D)×1750（H）mm
350kg*7

*1 偏振器可驅動，緩速板可拆卸，對不敏感帶有效。
*2 因短軸和角度而異。
*3 微點對應（可選）
*4 使用 VLSI 標準 SiO2 膜 （100nm） 時的值。
*5 選擇自動階段時的值。

 江蘇地區代理Otsuka大塚電子FE-5000嵌入式膜厚儀


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浙江地區代理Otsuka大塚電子FE-5000嵌入式膜厚儀


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