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產品詳情

  • 產品名稱：日本進口MIKASA旋轉刮涂機MS-B300

  • 產品型號：
  • 產品廠商：MIKASA旋轉涂布機
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簡單介紹：
光刻.com從旋涂機（涂布機）到掩模對準器（曝光裝置），以及用于開發和蝕刻的研究實驗室機器。 此外，作為測量，我們還處理各種測量機，用于薄膜厚度測量、階梯測量、線寬和形狀測量。
詳情介紹：

產品規格

*大電路板尺寸 φ12英寸晶圓或200×200mm基板
轉速（rpm） 20～5,000
旋轉精度 ±1rpm（負載時）
電機 交流伺服電機
蓋 聚碳酸酯
旋轉室內徑 φ500mm
步驟模式數 100 步× 10 模式
時間設置 999.9sec
**聯鎖 真空標準蓋
標準設備
滴落設備 選購件（*多可安裝 2 個臂）
使用真空壓力 -0.08～-0.1MPa
電源 AC200 至 240V 單層 5A
外形尺寸（mm） 545W×432H×654D
重量 55kg
選項 居中夾具

* 規格如有更改，恕不另行通知。

膜厚分布數據

膜厚分布數據

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使用的型號 MS-B300
電阻 OFPR-800LB（東京應化社制）
電路板尺寸 φ12英寸硅晶片
目標厚度 1μm
薄膜厚度分布 ±0.8％
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