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  • 產品名稱：代理AMAYA天谷制作所連續常壓 CVD設備A6300S

  • 產品型號：
  • 產品廠商：AMAYA天谷制作所
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簡單介紹：
AMAYA天谷制作所連續常壓 CVD設備A6300S ●6英寸~120張/小時吞吐量 ●采用SiC托盤的重金屬污染對策 氣相沉積設備
詳情介紹：
特點

這是一種連續常壓
CVD設備，可滿足小直徑晶圓大規模生產設備的需求，每小時可產生120片吞吐量。

該設備通過非常集中的
輸送系統實現大規模生產，同時降低成本，從而實現了廣泛的沉積區域。

SiC 托盤的采用使重金屬污染不難發生。 此外，由于熱量，工藝性能
穩定，老化較少。

標準配備托盤自動更換功能，可縮短操作員的**性和維護時間。
此外，通過采用自動提升頭底座的機制，可以輕松進行
清潔。

性能
薄膜厚度均勻性 ≦±4.0%
支持的晶圓尺寸 到 6 英寸
氣體種類 SiH4, O2, PH3, B2H6, N2
沉積溫度 350～430℃
生產力 ~120張/小時
主要規格

設備尺寸 1500mm(W) x 2850mm(D) x 2000mm(H)
加熱機構 電阻加熱
卸載 機器人CtoC輸送
分散頭
（氣體噴嘴） 		A63 頭（標準 2 頭）
深圳代理AMAYA天谷制作所連續常壓 CVD設備A6300S

上海代理AMAYA天谷制作所連續常壓 CVD設備A6300S

北京代理AMAYA天谷制作所連續常壓 CVD設備A6300S

蘇州代理AMAYA天谷制作所連續常壓 CVD設備A6300S

重慶代理AMAYA天谷制作所連續常壓 CVD設備A6300S

氣相沉積設備

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