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產品詳情

  • 產品名稱：國內銷售AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜裝置

  • 產品型號：
  • 產品廠商：AMAYA天谷制作所
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簡單介紹：
● 低溫 （150~300°C） 處理 ● 形成 高品質的SiO2膜 低應力 、 無等離子體損傷 、 小顆粒 ? 降低 導入和維護成本 小占地面積 、 無需 真空 · 等離子體處理 ● 價格低廉 氣相沉積設備
詳情介紹：
特點

4.5 代玻璃基板沉積設備，支持剛性和柔性設備，如 FPD。

搭載了2臺成膜有效寬度760mm的氣頭，采用吸附式加熱臺，
實現了溫度控制性±3%以內。

4.5 代玻璃基板可在 250°C 下以 25 片/小時或更高的吞吐量沉積 100nm SiO2 膜，
確保薄膜厚度均勻性在 10% 以內。

性能
薄膜厚度均勻性 ±10%
支持的晶圓尺寸 4.5 代
氣體種類 SiH4, O3, PH3, B2H6
沉積溫度 150～300℃
主要規格

設備尺寸 1300mm(W) x 7350mm(D) x 2000mm(H)
氣頭 搭載2個成膜有效寬度760mm氣頭
蘇州代理AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜裝置

常州代理AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜裝置

昆山代理AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜裝置

武漢代理AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜裝置

南京代理AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜裝置


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