布基纳法索/澳洲时间/欧冠赛程16强赛程表/西甲历届积分榜 - 2024年土伦杯赛事规则

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  • 產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:AMAYA天谷制作所太陽能電池批量生產(chǎn)用AMAX1000S

    • 產(chǎn)品型號(hào):
    • 產(chǎn)品廠商:AMAYA天谷制作所
    • 產(chǎn)品價(jià)格:0
    • 折扣價(jià)格:0
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡(jiǎn)單介紹:
    156mm 方形/小時(shí) 1500 張吞吐量 ? 通過采用 SiC 托盤解決重金屬污染問題, 以及通過改進(jìn)托盤支架進(jìn)行背面旋轉(zhuǎn)措施 氣相沉積設(shè)備
    詳情介紹:
    特點(diǎn)

    超大規(guī)模生產(chǎn)設(shè)備可
    運(yùn)輸 156mmx156mm 方形基板和 125mm x 125mm 方形基板,以滿足太陽能電池的生產(chǎn)需求。

    為了實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn),我們開發(fā)了專用分配頭,并開發(fā)了雙臂輸送機(jī)構(gòu),
    以實(shí)現(xiàn)超高速輸送。 此外,還增加了新的燈加熱機(jī)制,以獲得
    超高速和晶圓溫度均勻性。

    我們開發(fā)了特殊的晶圓支架,可有效地加熱到太陽能電池的薄晶圓上。

    卸載機(jī)部分采用多級(jí)伯努伊夾頭,將晶圓和托盤分開,并
    具有冷卻功能。

    性能
    薄膜厚度均勻性 ≦±10%
    支持的晶圓尺寸 156mm 方形,126mm 方形
    氣體種類 SiH4, O2, PH3, B2H6, N2
    沉積溫度 ~430℃
    生產(chǎn)力 1500 張/小時(shí)
    主要規(guī)格

    設(shè)備尺寸 1860mm(W) x 5900mm(D) x 2100mm(H)
    加熱機(jī)構(gòu) 電阻加熱和燈加熱
    卸載 加載: 夾緊, 卸載: 伯努伊恰克
    分散頭
    (氣體噴嘴)
    A63 長(zhǎng)頭(*多可添加 3 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)頭和 5 個(gè)頭)
    蘇州代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S

    常州代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S

    昆山代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S

    無錫代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S

    南京代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S

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