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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹:
156mm 方形/小時(shí) 1500 張吞吐量
? 通過采用 SiC 托盤解決重金屬污染問題,
以及通過改進(jìn)托盤支架進(jìn)行背面旋轉(zhuǎn)措施
氣相沉積設(shè)備
詳情介紹:
特點(diǎn)
超大規(guī)模生產(chǎn)設(shè)備可
運(yùn)輸 156mmx156mm 方形基板和 125mm x 125mm 方形基板,以滿足太陽能電池的生產(chǎn)需求。
為了實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn),我們開發(fā)了專用分配頭,并開發(fā)了雙臂輸送機(jī)構(gòu),
以實(shí)現(xiàn)超高速輸送。 此外,還增加了新的燈加熱機(jī)制,以獲得
超高速和晶圓溫度均勻性。
我們開發(fā)了特殊的晶圓支架,可有效地加熱到太陽能電池的薄晶圓上。
卸載機(jī)部分采用多級(jí)伯努伊夾頭,將晶圓和托盤分開,并
具有冷卻功能。
性能
薄膜厚度均勻性 | ≦±10% | |||||||||||||||||
支持的晶圓尺寸 | 156mm 方形,126mm 方形 | |||||||||||||||||
氣體種類 | SiH4, O2, PH3, B2H6, N2 | |||||||||||||||||
沉積溫度 | ~430℃ | |||||||||||||||||
生產(chǎn)力 | 1500 張/小時(shí) |
主要規(guī)格
設(shè)備尺寸 | 1860mm(W) x 5900mm(D) x 2100mm(H) | |||||||||||||||||
加熱機(jī)構(gòu) | 電阻加熱和燈加熱 | |||||||||||||||||
卸載 | 加載: 夾緊, 卸載: 伯努伊恰克 | |||||||||||||||||
分散頭 (氣體噴嘴) |
A63 長(zhǎng)頭(*多可添加 3 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)頭和 5 個(gè)頭) |
常州代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S
昆山代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S
無錫代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S
南京代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S
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