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  • 產品名稱：MIKASA旋轉涂膜儀MS-B100刮涂機含技術支持

  • 產品型號：
  • 產品廠商：MIKASA旋轉涂布機
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簡單介紹：
使用交流伺服電機，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機的發熱，在連續使用時，由于溫度升高，薄膜厚度再現性也難以受到影響。
詳情介紹：

產品規格

*大電路板尺寸 φ4英寸晶圓或75×75mm基板
轉速（rpm） 20～8,000
旋轉精度 ±1rpm（負載時）
電機 交流伺服電機
蓋 丙烯酸
旋轉室內徑 φ220mm
步驟模式數 100 步× 10 模式
時間設置 999.9sec
**聯鎖 真空標準蓋
選項
滴落設備 不可安裝
使用真空壓力 -0.08～-0.1MPa
電源 AC100～240V　5A
外形尺寸（mm） 259W×246H×330D
重量 10kg

* 規格如有更改，恕不另行通知。

支持選項




<定制類型> >支持<的型號
自動滴落裝置（空氣驅動） 1 臂  
2 臂  
自動滴落裝置（支架類型）    
邊緣沖洗    
反向沖洗    
排氣管   ○
廢液排放   ○
蓋子限位開關   ○
特氟龍涂層加工   ○
添加電機廢熱風扇   ○
緊急停止開關   ○
大功率電機    

蘇州代理MIKASA旋轉涂膜儀MS-B100

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對準曝光機MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、旋轉涂布機MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（ 密封）顯影刻蝕裝置AD-1200AD-3000ED-1200ED-3000



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