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產品詳情

  • 產品名稱：MIKASA旋轉涂膜儀MS-B150 刷涂機實驗儀器

  • 產品型號：
  • 產品廠商：MIKASA旋轉涂布機
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簡單介紹：
使用交流伺服電機，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機的發熱，在連續使用時，由于溫度升高，薄膜厚度再現性也難以受到影響。
詳情介紹：

產品規格

*大電路板尺寸 φ6英寸晶圓或100×100mm基板
轉速（rpm） 20～7,000
旋轉精度 ±1rpm（負載時）
電機 交流伺服電機
蓋 丙烯酸
旋轉室內徑 φ290mm
步驟模式數 100 步× 10 模式
時間設置 999.9sec
**聯鎖 真空標準蓋
選項
滴落設備 選項
使用真空壓力 -0.08～-0.1MPa
電源 AC100～240V　5A
外形尺寸（mm） 352W×303H×432D
重量 16kg

* 規格如有更改，恕不另行通知。

支持選項


<定制類型> >支持<的型號
自動滴落裝置（空氣驅動） 1 臂 ○
2 臂 ○
自動滴落裝置（支架類型）   ○
邊緣沖洗   ○
反向沖洗   ○
排氣管   ○
廢液排放   ○
蓋子限位開關   ○
特氟龍涂層加工   ○
添加電機廢熱風扇   ○
緊急停止開關   ○
大功率電機  

對準曝光機
MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、
旋轉涂布機
MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（ 密封）
顯影刻蝕裝置
AD-1200
AD-3000
ED-1200
ED-3000


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