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  • 產品名稱：MIKASA米卡薩旋轉涂膜儀MS-B200（密封）

  • 產品型號：
  • 產品廠商：MIKASA旋轉涂布機
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簡單介紹：
MIKASA米卡薩旋轉涂膜儀MS-B200（密封）
詳情介紹：

產品規格


*大電路板尺寸 100×100mm 基板
轉速（rpm） 20～3,000
旋轉精度 ±1rpm（負載時）
電機 交流伺服電機
密封蓋 鋁/德爾林
旋轉室內徑 φ360mm
步驟模式數 100 步× 10 模式
時間設置 999.9sec
**聯鎖 真空標準蓋
標準設備
滴落設備 不可安裝
使用真空壓力 -0.08～-0.1MPa
公用事業 空氣：0.3MPa（用于上部氣缸）
電源 AC100～240V　5A
外形尺寸 540W×460H×630D
重量 44kg
對準曝光機
MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、
旋轉涂布機
MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（ 密封）
顯影刻蝕裝置
AD-1200
AD-3000
ED-1200
ED-3000


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