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產品詳情

  • 產品名稱：代理銷售MIKASA旋轉涂層機MS-B300

  • 產品型號：MIKASA 旋轉涂層機MS-B300
  • 產品廠商：MIKASA旋轉涂布機
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簡單介紹：
由于旋涂機應用機（MIKASA）的產品由于使用交流伺服電機而無刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過減少電機的發熱，在連續使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現性。
詳情介紹：


產品規格

*大電路板尺寸 φ12英寸晶圓或200×200mm基板
速度（轉/分） 20~5，000
旋轉精度 ±1轉/分（負載時）
發動機 交流伺服電機
蓋 聚碳酸酯
旋轉室直徑 φ500毫米
步進模式數 100 步× 10 種模式
時間設置 999.9秒
**聯鎖 真空標配設備蓋標配設備
滴水裝置 可選（*多可連接 2 個臂）
使用的真空壓力 -0.08~-0.1兆帕
權力 AC200~240V 單層 5A
外部尺寸（毫米） 545W×432H×654D
重量 55公斤
選擇 定心夾具

* 規格如有更改，恕不另行通知。

支持的選項

<定制類型> <兼容型號>
?自動滴水裝置（氣動型） 1 臂 ○
2 臂 ○
?自動滴水裝置（支架式）    
?漱邊   ○
?背部沖洗   ○
?排氣管   ○
?廢液排放   ○
?鄰苯二甲酰亞胺開關   ○
?特氟龍涂層   ○
?增加電機余熱風扇   ○
?急停開關   ○
?大功率電機   ○


選型支持 技術服務 售后安裝調試維修


蘇州代理MIKASA 旋轉涂層機MS-B300

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