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  • 產品名稱:江蘇代理OTSUKA大塚電子晶圓測厚系統

  • 產品型號: GS-300
  • 產品廠商:OTSUKA大塚電子
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簡單介紹:
塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司江蘇代理OTSUKA大塚電子晶圓測厚系統 GS-300實現嵌入晶圓中的布線圖案的圖案對齊 GS-300滿足半導體工藝的高通量需求 GS-300支持凹口對齊功能
詳情介紹:
塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司江蘇代理OTSUKA大塚電子晶圓測厚系統 GS-300實現嵌入晶圓中的布線圖案的圖案對齊 GS-300滿足半導體工藝的高通量需求 GS-300支持凹口對齊功能

OTSUKA大塚電子GS-300產品信息

 GS-300特征
  • 支持集成到Φ300mm EFEM單元備用端口中
  • 實現嵌入晶圓中的布線圖案的圖案對齊
  • 滿足半導體工藝的高通量需求
  • 支持凹口對齊功能
  • 占地面積小規格

 

 GS-300測量示例
  • TSV嵌入式圖案晶圓磨削后的硅厚度
  • Φ300mm晶圓厚度
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