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產品詳情
  • 產品名稱:蘇州小坂KOSAKA臺階儀微細形狀測定機ET200A-D

  • 產品型號: ET200A-D
  • 產品廠商:KOSAKA小坂臺階儀
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簡單介紹:
ET200A基于Windows 操作系統為多種不同表面提供**的形貌分析,包括半 導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、 薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實現高 精度表面形貌分析應用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨 損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。
詳情介紹:

 臺階儀ET200A產品參數

 

*大試片尺寸 Φ200mm×高度50mm
重現性 1σ ≤ 1nm
測定范圍 Z:600um X:100mm
分解能 Z:0.1nm X:0.1um
測定力 10UN~500UN (1mg-50mg)
載物臺 Φ160mm, 手動360度旋轉

ET200A基于Windows 操作系統為多種不同表面提供**的形貌分析,包括半 導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、 薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實現高 精度表面形貌分析應用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨 損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。 ET200A 配備了各種型號探針,提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭,彩色CCD 原位采集設計,可直接觀察到探針工作時的狀態,更方便準確的定位測試區域。

 

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