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  • 產品名稱：南京KOSAKA小坂臺階儀微細形狀測定機ET4000L

  • 產品型號： ET4000L
  • 產品廠商：KOSAKA小坂臺階儀
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簡單介紹：
南京KOSAKA小坂臺階儀微細形狀測定機ET4000L臺階儀可以應用在半導體，光伏/太陽能，光電子，化合物半導體，OLED，生物醫藥，PCB封裝等領域的薄膜厚度，臺階儀測量薄膜厚度,臺階高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），劃痕深度，磨損深度，薄膜應力（曲定量率半徑法）等定量測量方面。其高精度，高重復性，自動探索樣品表面
詳情介紹：

南京KOSAKA小坂臺階儀微細形狀測定機ET4000L


臺階儀/膜厚儀ET4000系列產品參數

 

*大試片尺寸 210×210mm~300×400mm
重現性 1σ 0.5nm以內
測定范圍 Z:100um X:100～305mm (Y移動量:150~400mm)
分解能 Z:0.1nm X:0.1um
測定力

0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)

 

臺階儀可以應用在半導體，光伏/太陽能，光電子，化合物半導體，OLED，生物醫藥，PCB封裝等領域的薄膜厚度，臺階儀測量薄膜厚度,臺階高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），劃痕深度，磨損深度，薄膜應力（曲定量率半徑法）等定量測量方面。其高精度，高重復性，自動探索樣品表面


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