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產品詳情
簡單介紹：
臺階儀可以應用在半導體，光伏/太陽能，光電子，化合物半導體，OLED，生物醫藥，PCB封裝等領域的薄膜厚度，臺階儀測量薄膜厚度,臺階高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），劃痕深度，磨損深度，薄膜應力（曲定量率半徑法）等定量測量方面。其高精度，高重復性，自動探索樣品表面
詳情介紹：
可以高精度自動測量樣品尺寸高達 2200×2600 mm 的大型工件。 還有一個加載/卸載樣品的選項。
- 全自動用于測量大型工件。
| *大樣本量 | 2200×2600毫米 |
|---|---|
| 再現性 | 1σ 1納米 |
| 測量范圍 | X：10毫米 Y：10毫米 |
| 分辨率 | Z軸：0.1納米 X：0.1微米 |
| 測量力 | 0.5μN~500μN |
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