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產品詳情

  • 產品名稱：南京HORIBA崛場半導體質量流量模塊D700T

  • 產品型號： D700T
  • 產品廠商：HORIBA堀場
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簡單介紹：
總代HORIBA崛場半導體質量流量模塊D700MG流量控制器 高響應壓力非敏感質量流量器關鍵的半導體制造過程不斷要求**的氣體流量控制設備，以實現未來的**，以及**的存儲和邏輯設備的實驗室到工廠的過渡。HORIBA公司提出了新的基于壓力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型號，以支持客戶的挑戰。
詳情介紹：

總代HORIBA崛場半導體質量流量模塊D700MG 國內各區域銷售



  • 總代HORIBA崛場半導體質量流量模塊D700MG

  • 工具上氣體和全尺寸配置更改 *僅 EtherCAT 

    • 為流程優化提供靈活性

  • 100 ms 響應速度和mfc到mfc的偏差控制

    • 提供高生產力和更大的過程性能

  • 小流量 MRMG 功能（Bin101 - Bin105）

    • 為需要小流量的工藝提供靈活性

  • PFA 噴嘴具有更好的閥門關閉和耐腐蝕性能

    • 穩定性性和較小的顆粒風險，減少停機時間和優化產量

  • 狀態監控功能

    • 為更智能的故障預測提供更多的內部數據

*1 流量精度可低至2 SCCM，因此實際氣體低于2 SCCM以下不保證精度。
*2 在25℃和≤ 1.0 × 10-3 Pa (A)條件下的保證值。
*3 設定時間為 MFC 輸出信號和 N2 氣體。其他細節定義遵循“SEMI標準 E17-1011章節 4.1.4”的設定時間。
*4 壓力擾動必須小于 20% 的壓力變化/秒和 ±70 kPa/秒（±10 PSI/秒）。
*5 EtherCAT® 是注冊商標和**技術，由德國 Beckhoff Automation GmbH 授權。


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