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  • 產品名稱：Auto SE - 自動化薄膜測量工具HORIBA堀場總代

  • 產品型號： Auto SE
  • 產品廠商：HORIBA堀場
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簡單介紹：
Auto SE - 自動化薄膜測量工具HORIBA堀場總代 Auto SE是一種新型薄膜測量工具。僅需簡單的幾個按鈕，幾秒鐘內即可自動完成樣品測量和分析，并提供完整的薄膜特性分析報告，包括薄膜厚度、光學常數、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。Auto SE全自動化設計、一鍵式操作，功能齊全。配備自動XYZ樣品臺進行成像分析，自動切換微光斑，多種附件可選，以滿足不同的應用需求。
詳情介紹：

Auto SE - 自動化薄膜測量工具HORIBA堀場國內總代

  • 光譜范圍：440-1000nm
  • 光斑尺寸：7個尺寸微光斑全自動切換500x500 μm; 250x500 μm; 250x250 μm; 70x250 μm; 100x100 μm; 50x60 μm; 25x60 μm
  • 探測系統：CCD，分辨率2nm
  • 樣品臺：真空吸盤，Z軸行程40mm
  • 光斑可視系統：CCD攝像機-視野1.33x1 mm-分辨率10μm
  • 量角器：固定角70°，也可選擇66°或61.5°
  • 多種附件可選
  • 測試時間：<2s，常規為5s
  • 準確性：NIST 100nm d ± 4?, n(632.8nm) ± 0.002
  • 重復性：NIST 15nm ± 0.2 ?

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