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紫外可見(jiàn)光光度計(jì)
UVISEL Plus In-Situ在線監(jiān)控橢偏儀浙江供應(yīng)
UVISEL Plus在線監(jiān)控橢偏儀可以很容易的安裝在各類反應(yīng)腔(PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE),實(shí)時(shí)監(jiān)控薄膜沉積或刻蝕過(guò)程。
UVISEL Plus在線橢偏儀結(jié)合了速度快、靈敏度高、動(dòng)態(tài)范圍寬和準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn),使其能夠在原子層水平監(jiān)控沉積/刻蝕,即使過(guò)程速度比較快也可實(shí)現(xiàn)。
采用新型適配器組件可以實(shí)現(xiàn)臺(tái)式設(shè)備和在線系統(tǒng)的切換。
UVISEL Plus在線橢偏儀使用DeltaPsi2軟件驅(qū)動(dòng),該軟件適用于HORIBA所有橢偏儀。DeltaPsi2具有眾多先進(jìn)的建模和擬合處理功能,操作界面簡(jiǎn)單,可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。先進(jìn)的通訊協(xié)議,TCP/IP和RS232已被設(shè)計(jì)用于生產(chǎn)環(huán)境和OEM。
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