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產品詳情
簡單介紹:
小坂臺階儀膜厚儀探針接觸式ET200A-3D國內總代 它是2D表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇,可實現高精度,高分辨率和出色的穩定性,并且還支持測量力小的軟樣品表面。
ET200A:表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇
ET200A-D:配備電動Y軸單元
ET200A-3D:<>D 表面粗糙度分析和階躍差測量的理想選擇
詳情介紹:
小坂臺階儀膜厚儀探針接觸式ET200A-3D國內總代
設備特點:
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統為多種不同表面提供**的形貌分析,包括
半導體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、
薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實現高
精度表面形貌分析應用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨
損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。
ET200A 配備了各種型號探針,提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭,彩色
CCD 原位采集設計,可直接觀察到探針工作時的狀態,更方便準確的定位測試區域。
它是2D表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇,可實現高精度,高分辨率和出色的穩定性,并且還支持測量力小的軟樣品表面。
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ET200A:表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇
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ET200A-D:配備電動Y軸單元
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ET200A-3D:<>D 表面粗糙度分析和階躍差測量的理想選擇
*大樣本量 | Φ160×厚度52毫米 |
---|---|
再現性 | 1σ 0.3nm以內 |
測量范圍 | Z軸:600微米 X:100毫米 |
分辨率 | Z軸:0.1納米 X:0.1微米 |
測量力 | 10μN~500μN |
規格
一、樣品臺:
1. 樣品臺尺寸:φ160mm
2. 大工件尺寸:φ200mm
3. 大工件厚度:52mm
4. 大工件重量:2kg
5. 傾斜調整范圍:±2°(±5mm/160mm)
6. 樣品臺材質:黑色硬質鋁
7. 手動旋轉:360°(手動粗調)、±5°(微調,小約0.5°)
二、傳感器(pick up):
1. 原理:直動式傳感器 (業界**)
2. Z方向測定范圍:Max. 600μm
3. Z方向小分辨率:0.025nm (2,000,000放大倍率時)
4. 測定力: 10uN ~500uN
5. 觸針半徑:2 μm 60° 鉆石針頭 (另有多種可選)
6. 驅動方式:直動式
7. 再現性:1σ= 0.2nm (1um以下臺階時)
三、X 軸 (基準軸/測量軸):
1. 移動量(大測長):100mm (±50mm)
2. 真直度:0.2μm/100mm(全量程),5nm/5mm (局部)
3. 移動,測定速度:0.005~20mm/s
4. 線性尺(linar scale):X方向分辨率 0.1μm
5. 位置重復誤差:±5um
四、Z軸:1. 移動量:54mm
2. 移動速度:max.2.0mm/S
3. 檢出器自動停止機能
六、Y軸:(手動定位用)
1. 移動量:25mm(±12.5mm)
七、工件觀察:
1. 彩色1/3”CCD,x4物鏡倍率
2. 綜合倍率:約320倍 (使用19” monitor時)
3. 視野:1.2*0.9mm
4. 觀察方向:右側斜視
5. 照明:白色LED(可使用軟件調整明暗度)
八、軟件功能簡介:
1. 型號:i-STAR31
2. 可設定測量條件菜單、重復測量設定、解析菜單
3. 可設定下針座標,實現定位后自動測量及解析功能
4. 可設定低通濾波,過濾噪音及雜訊
5. 具有返回測量啟始點功能
6. 顯示倍率:垂直方向50~2,000,000倍、縱方向1~10,000倍
7. 解析功能:主要圖型、段差解析、粗糙度解析、內應力分析、內建多種段差解析菜單可
選
九、床臺:一體花崗巖
十、防振臺(選購):落地型或桌上型
十一、電源:AC220V±10%,50/60HZ,300VA
十二、本體外觀尺寸及重量:
W500×D440×H610mm, 120kg,一體花崗巖低重心結構
(不含防震臺)
Kosaka小坂ET200A粗糙度三維6寸臺階儀總代
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