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日本KOSAKA小坂臺階儀的廣泛應用|塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司中國代理店

日期:2024-10-16 07:12
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摘要:針對半導體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力分析--KOSAKA小坂臺階儀 株式會社小坂研究所(KOSAKA)是于1950年創立的公司,也是日本**家發表光學杠桿表面粗糙度計,是一家具有悠久歷史與技術背景的專業廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為*具代表性單位且在日本精密測定業占有一席無法被取代的地位 ET200A配備了各種型號探針,提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭,彩色CCD原位采集設計,可直接觀察到探針工作時的狀態,更方便準確的定位測試區域。
針對半導體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力分析--就選擇日本KOSAKA小坂臺階儀|塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司中國代理店

株式會社小坂研究所(KOSAKA)是于1950年創立的公司,也是日本**家發表光學杠桿表面粗糙度計,是一家具有悠久歷史與技術背景的專業廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為*具代表性單位且在日本精密測定業占有一席無法被取代的地位

ET200A配備了各種型號探針,提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭,彩色CCD原位采集設計,可直接觀察到探針工作時的狀態,更方便準確的定位測試區域。






傳感器(pick up):

1.原理:直動式傳感器(業界**)

2. Z方向測定范圍:Max. 600μm

3. Z方向*小分辨率:0.025nm (2,000,000放大倍率時)

4. 測定力:10uN ~500uN

5. 觸針半徑:2 μm60°鉆石針頭(另有多種可選)

6. 驅動方式:直動式

7. 再現性:1σ= 0.2nm(1um以下臺階時)

三、X 軸(基準軸/測量軸):

1. 移動量(*大測長):100mm(±50mm)

2. 真直度:0.2μm/100mm(全量程),5nm/5mm (局部)

3. 移動,測定速度:0.005~20mm/s

4. 線性尺(linar scale):X方向分辨率0.1μm

5. 位置重復誤差:±5um

七、工件觀察:

1. 彩色1/3”CCD,x4物鏡倍率

2. 綜合倍率:約320倍(使用19”monitor時)

3. 視野:1.2*0.9mm

4. 觀察方向:右側斜視

5. 照明:白色LED(可使用軟件調整明暗度)

八、軟件功能簡介:

1. 型號:i-STAR31

2. 可設定測量條件菜單、重復測量設定、解析菜單

3. 可設定下針座標,實現定位后自動測量及解析功能

4. 可設定低通濾波,過濾噪音及雜訊

5. 具有返回測量啟始點功能

6. 顯示倍率:垂直方向50~2,000,000倍、縱方向1~10,000倍

7. 解析功能:主要圖型、段差解析、粗糙度解析、內應力分析、內建多種段差解析菜單可

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